光刻機(jī)半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵核心零部件研發(fā)
2025.03.01，國投創(chuàng)業(yè)，粵科母基金
2023.11.15，清石資產(chǎn)管理集團(tuán)，昆侖資本，建信（北京）投資，青銳創(chuàng)投
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2023.06.01，季華顯示
2022.08.01，建信投資，君桐資本，季子投資，毅達(dá)資本，基石資本，俱成資本，福建電子信息產(chǎn)業(yè)基金，勵(lì)石創(chuàng)投，建信（北京）投資
2021.06.01，建信信托，天赪投資
2021.04.01，季子投資，上?？苿?chuàng)，君桐資本，大成匯彩，海望資本
1754.03.05，季華璀璨投資
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