半導(dǎo)體真空腔體零部件制造商
2024.12.20,基石創(chuàng)投,國(guó)中資本,乾融資本,維信諾
2024.12.05,乾融控股,基石基金,北城資本,國(guó)中常榮資產(chǎn)
2023.08.01,合肥產(chǎn)投集團(tuán)
2022.03.01,和利資本,東運(yùn)創(chuàng)投,弘博資本
2022.02.01,芯動(dòng)能投資,國(guó)元股投
2021.02.01,國(guó)元股投,中芯聚源
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