泛半導(dǎo)體行業(yè)干式真空泵裝備及服務(wù)供應(yīng)商
2025.12.09，順禧基金，達(dá)晨財(cái)智，交銀投資，中車資本，韓國(guó)未來資產(chǎn)Mirae Asset Venture Investment，武漢科投，武創(chuàng)投，富陽產(chǎn)投，東瑞資本
2025.04.07，順禧基金，未來資產(chǎn)，達(dá)晨財(cái)智，上海瑞力投資
2024.05.31，青松資本，達(dá)晨財(cái)智，初輝資本，達(dá)晨創(chuàng)投，立豐投資，國(guó)開科創(chuàng)，辰峰資本
2023.06.01，朝希資本，芯創(chuàng)資本，渝富資本，君海創(chuàng)芯，盛世投資，諾華資本，辰峰資本，德鄰私募基金，倉廩投資，鉑蓮?fù)顿Y，瑞東資本，明德投資，鑫睿創(chuàng)投，新潮集團(tuán)
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